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      硅晶圆存放过程中需要怎么存储?

      时间:2024-01-05 作者: 点击:

      硅晶圆作为半导体的基本材料,在保管存放过程中对环境的要求有着极为严格的要求。

      硅晶圆存放环境条件一般来说有以下几点要求:

      一.湿度

          硅晶圆衬底是一种对湿度极其敏感的材料,过高的湿度将会导致晶圆表面光洁度和氧化层品质,而过低的

          湿度则极其容易产生静电放电,从而导致硅晶圆损坏。

          一般来说硅晶圆需要存放在环境湿度稳定在30%RH~50%RH的环境中。


      二.温度

          对于硅晶圆来说,温度一般不存在硬性条件要求,但也不宜存放在温度过于极端的环境。

          一般来说20~24℃的室温存放即可。


      三.光照

          硅晶圆在存放过程中应采用间接光照的形式进行,需要避免直接暴露在阳光和荧光等下。


      四.防静电

          硅晶圆极易因静电放电而损坏,在存放硅晶圆过程中一般会采取一定的防静电手段。


      五.空气环境

          硅晶圆加工属于超高精度的精密加工,因而在存放过程中需要保障存放环境的空气洁净度,以减小

          后续生产过程中的清洗难度。


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